EE-SPY801 / 802 欧姆龙光电传感器 晶圆片托架落座传感器 晶圆片托架的落座检测
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
***的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式
使用环保导线(无滑石粉)
本体
形状 |
形状检测方式 |
检测距离 |
动作模式 |
导线长 |
型号 |
important;">
|
important;">反射型 |
important;">0~3mm
(红外光) |
important;">有晶圆片托架时ON |
important;">2m |
EE-SPY801 2M |
important;">
|
EE-SPY802 2M |
附件(另售)
名称 |
型号 |
important;">导槽 |
EE9-C01 |
EE9-C02 |
注: 不具备传感器的功能。
项目 型号 |
EE- SPY801/802 |
检测距离
(标准检测物体) |
0~5mm (反射率90% 白色画纸15×15mm2)
0~3mm (反射率10% 黑纸15×15mm2) |
检测物体 |
晶圆片托架(透明物体、不透明物体) |
动作指示灯 |
物体检测时亮灯(橙色) |
光源(***大发光波长) |
GaAs红外发光二级管(940nm) |
电源电压 |
DC12~24V±10% 纹波(p-p) 5%以下 |
消耗电流 |
30mA以下 |
控制输出 |
NPN集电极开路输出、DC5~24V、100mA以下、关机电流0.5mA以下
残留电压:0.8V以下(负载电流100mA时)
残留电压:0.4V以下(负载电流40mA时) |
响应时间 |
5ms以下 |
使用环境照度 |
受光面照度 白炽灯、太阳光:各3,000lx以下 |
环境温度范围 |
工作时:-10~+55℃、保存时:-25~+65℃ (无结冰) |
环境温度范围 |
工作时:5~85%RH、保存时:5~95%RH (无结露) |
振动(耐久) |
1~500Hz 单振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次扫频、11min/扫频 |
冲击(耐久) |
500m/s2 X、Y、Z各方向 3次 |
保护结构 |
IEC规格 IP30 |
连接方式 |
导线引出型(标准导线长2m) |
质量(包装后) |
本体(传感器):约43g、附件(导槽):约9g |
材质 |
外壳 |
四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE) |
底板 |
聚苯二甲酸丁二醇酯 |
附件 |
使用说明书 |
单位:(mm)
本体
附件(另售)