非接触光学表面3d轮廓仪

测量步骤

1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心

2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；5.设置好扫描方式和扫描范围；6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；9.根据被测物形状和尺寸，"形状"栏选择“椭圆平面"，X和Y方向按需设置；10.点击弹出框右下角的“开始"图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。

中图仪器非接触光学表面3d轮廓仪是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

非接触光学表面3d轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。