白光表面干涉仪

SuperViewW1白光表面干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。广泛应用于如纳米材料、航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。

产品特点
参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；
环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；
双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石”也能安然无恙；
自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝”；
双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动”。

产品性能
纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关
扫描帧速：50FPS/s
粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）
光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关
至大点数：1048576（标准）
台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ

SuperViewW1白光表面干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。