NITTA GROUP霓达 无硼、低硼、低有机物空气过滤网

 

LB/LO/LL HEPA/ULPA LB/LO/LL ULPA 使用低硼/低有机物玻璃纤维纸之空气过滤网。 PTFE 使用超细微之纤维所结合而成,低压损、高捕集效率，其特征为氟树脂之洁净性及耐药品性。

 

内容

 

半导体科技 ROAD MAP 中Design Rule为分子污染的对策必须在0.13μm以下。

台湾霓塔具备革新的高科技的技术来制造低硼、低有机物空气过滤网，已提供此制品给日本市场的许多客户。

台湾霓塔的低硼、低有机物制品，以日本Nitta分子污染评价技术，其性能有被证明。

下个世代的无尘室中为了有效抑制分子污染，若怠慢了低硼、低分子污染的对策，将无法抑制分子污染。

分子污染的对策在超清洁环境有被要求的场合时，化学过滤网、低硼、低有机物空气过滤网的组合是*适合被选择使用。

1.过滤网类型

平板型 低硼、低有机物HEPA Filter

型号 厚度(MM) 面风速(M/S) 初期压损(PA) 效率(0.3UM) 安全规格UL900

LB3502 52 0.5 / 0.85 120 / 210 99.99% / 99.97% ---

LB3402 68 0.5 / 0.85 95 / 165 99.99% / 99.97% ---

LB3802 86 0.5 / 0.85 80 / 140 99.99% / 99.97% ---

LL3502 52 0.5 125 99.97% ---

LL3402 68 0.5 125 / 100 99.99% ---

LO3501 52 0.5 / 0.85 140 / 250 99.99% ---

LO3401 68 0.5 / 0.85 110 / 200 99.99% ---

LO3801 86 0.5 / 0.85 90 / 160 99.99% ---

LL3501 52 0.5 / 0.85 140 / 250 99.99% ---

LL3401 68 0.5 / 0.85 110 / 200 99.99% ---

LL3801 86 0.5 / 0.85 90 / 160 99.99% ---

* UL900为选购产品

平板型 低硼、低有机物ULPA Filter

型号 厚度(MM) 面风速(M/S) 初期压损(PA) 效率(0.1~0.2UM) 安全规格UL900

LB3542 52 0.5 170 99.999% ---

LB3442 68 0.5 135 99.999% ---

LB3842 86 0.5 / 0.85 110 / 190 99.999% ---

LO3541 52 0.5 200 99.999% V

LO3441 68 0.5 / 0.85 145 / 250 99.9995% / 99.999% V

LO3841 86 0.5 / 0.85 125 / 215 99.9995% / 99.999% V

LL3541 52 0.5 200 99.999% V

LL3441 68 0.5 / 0.85 145 / 250 99.9995% / 99.999% V

LL3841 86 0.5 / 0.85 125 / 215 99.9995% / 99.999% V

* UL900为选购产品

CELL型 无硼PTFE HEPA Filter

型号 尺寸(MM) 风量(CMM) 初期压损(PA) 效率(0.3UM) 安全规格UL900

U150X-12 595x595x292 43.8 190 99.995% ---

U150X-06 290x595x292 18.5 190 99.995% --- 平板型 无硼PTFE HEPA Filter

型号 厚度(MM) 面风速(M/S) 初期压损(PA) 效率(0.3UM) 安全规格UL900

TNNE30H 52 0.5 98 99.999% V

TNNE35H 52 0.5 85 99.999% V 平板型 无硼PTFE ULPA Filter

型号 厚度(MM) 面风速(M/S) 初期压损(PA) 效率(0.1~0.2UM) 安全规格UL900

TNNA35U6 52 0.5 116 99.99995% V

TNNA40U6 52 0.5 102 99.99995% V

TNNA50U6 86 0.5 82 99.99995% V