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发布信息

川崎机器人 NS410/NS510 单手臂 无尘机器人

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品牌: 川崎
轴数: 3轴
重复定位精度: ±0.1mm
单价: 面议
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-06-23 11:06
浏览次数: 257
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店铺基本资料信息
 
产品详细说明

NS系列机器人

用于半导体、有机EL、LCD面板

经典水平多关节手臂

NS系列无尘机器人以其长期现场使用证明其具有300mm晶圆搬运所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操纵器运动功能,具有线性轴的可选长度,以实现额外的FOUP伸展范围。

NS系列机器人:

NS410 / NS510 单手臂
       NS411 可以翻转的单手臂
       NS420 双手臂
       NS511悬挂式安装,可以翻转

 

应用:

无尘机器人外设:


 
SEMI F47合规
NS型号可以瞬时响应电波动,如电压下降,并且在电压恢复时自动恢复运行。
SEMI S2合规
NS型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。
碰撞检测
软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能,以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
翻转夹持轴
NS411型号有一个附加轴,用于在水平和垂直角度搬运晶圆。
悬挂式安装
NS511型号具有吊装规格设计,用于在化学液体环境中使用,同时满足ISO 5级的要求。


NS系列的规格

型号 NS410 NS411 NS420 NS510 NS511
构造 水平多关节型
自由度 3 轴 4 轴 4 轴 3 轴 4 轴
运动范围 Y 轴
(行进JT1)
2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 
4 FOUP: 1,670 mm
- -
θ 轴  
(旋转JT2)
380° 325° 325° 360° 473°
Z 轴
(上下JT3)
380 mm 380 mm 380 mm 440 mm 440 mm
X 轴
(上下JT4)
710 mm 798 mm X1: 646.8 mm
X2: 646.8 mm
598 mm 816.5 mm
F 轴
(旋转JT5)
- 156° - - 200°
重复性 ± 0.1 mm  (晶圆中心)
无尘度*1 ISO 2级 ISO 5级
控制柜 D60/D61  (规格见无尘控制柜)

*1: 于川崎的无尘间内测得

 

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