气体质量流量传感器|其他传感器-工博士工业品中心

所有气体质量流量传感器均在热交换时工作——流动和压力差。硅芯片设计源自薄膜、隔热桥结构，包含加热和热敏组件。这可以对空气或气体流量和方向作出快速响应，提供相应的输出电压。放大型能提供更强的输出信号和更少的外部电路，而未放大型可选择更多的外部电路。

霍尼韦尔提供：

先进的芯片设计、制造工艺和微结构技术
加快响应时间并实现更低的功耗
多种端口类型，提供更高的应用灵活性

气体质量流量传感器	霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列——高精度，±50 SCCM 至 ±750 SCCM	霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列——高精度，10 SLPM 至 300 SLPM	AWM1000 系列查找产品	AWM2000 系列查找产品	AWM3000 系列查找产品	AWM5000 系列查找产品	AWM700 系列查找产品	AWM40000 系列查找产品	AWM90000 系列查找产品
信号调节	放大、补偿	放大、补偿	非放大、补偿	非放大、补偿	放大	放大	放大	非放大（补偿）或放大	非补偿式
技术	具有绝热加热器的硅片	具有绝热加热器的硅片	硅片	硅片	硅片	硅片	硅片	硅片	硅片
流量/压力范围	0 SCCM 至 ±50 SCCM 0 SCCM 至 ±100 SCCM 0 SCCM 至 ±200 SCCM 0 SCCM 至 ±400 SCCM 0 SCCM 至 ±750 SCCM	0 SLPM 至 10 SLPM 0 SLPM 至 15 SLPM 0 SLPM 至 20 SLPM 0 SLPM 至 50 SLPM 0 SLPM 至 100 SLPM 0 SLPM 至 200 SLPM 0 SLPM 至 300 SLPM	±200 SCCM 1000 SCCM 至 -600 SCCM ±5,0 mbar [2.0 inH20] ±10,0 mbar [4.0 inH20]	±30 SCCM ±1000 SCCM ±10,0 mbar [4.0 inH20]	30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM ±0 mbar 至 1,25 mbar [0 inH20 至 0.5 inH20] ±0 mbar 至 5,0 mbar [0 inH20 至 2 inH20] 5,0 mbar [2.0 inH20]	0 SLPM 至 5,0 SLPM 0 SLPM 至 10,0 SLPM 0 SLPM 至 15,0 SLPM 0 SLPM 至 20,0 SLPM	300 SLPM	±25,0 SCCM 1,0 SLPM 6,0 SLPM	±200 SCCM ±5,0 mbar [2.0 inH20]
总误差带	低至 ±0.25 %FSS	10 SLPM 至 200 SLPM：4.0% 读数 300 SLPM:7.0% 读数	—	—	—	—	—	—	—
输出	模拟 (Vdc)，数字（I²C）	数字（I²C）	模拟	模拟	模拟	模拟	模拟	模拟	模拟
功耗	3.3 Vdc：典型值：40 mW（无负载）（模拟）典型值：23 mW（无负载）（数字） 5.0 Vdc：典型值：55 mW（无负载）（模拟）典型值：38 mW（无负载）（数字）	3 Vdc：大 60 mW 10 Vdc：大 200 mW	典型值为 30 mW	典型值为 30 mW	典型值为 50 mW 或 100 mW	*大 100 mW	*大 60 mW	大 60 mW，大 75 mW	典型值为 50 mW
端口类型	长接口紧固件安装短接口紧固件安装短接口卡扣式安装	歧管安装 22 mm OD 锥形螺头 G 3/8 母螺纹接头	直插	直插	直插	1/4 in-18 NPT	22 mm，锥形	多面	平行
支持的介质	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体	无腐蚀性干燥气体
补偿温度范围	0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]	0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	-0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]	10°C 至 40°C [50°F 至 104°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	—
工作温度范围	-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]	-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]