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1、SEMI F47 规格支持功能
SEMI F47 支持功能是指，因瞬时停电或者主回路电源电压暂时较低而导致伺服单元内部的主回路 DC 电压降到
规定值以下时，检出 A.971 （欠电压）警告，并对输出电流进行限制的功能。
本功能支持半导体制造装置要求的 SEMI F47 规格。
将本功能与瞬时停电保持时间 （ Pn509 ）的设定功能组合使用，在电源电压降低时也可以继续运行，不会因为
警报造成停机，无须进行恢复作业。
1).由上位装置执行时
上位装置收到欠电压 （ A.971 ）警告后对转矩进行限制。收到欠电压警告解除信号后解除转矩限制。
2). 由伺服单元单体执行转矩限制时
根据欠电压警告，在伺服单元内部施加转矩限制
收到欠电压警告解除信号后，根据设定时间在伺服单元内部对转矩限制值进行控制。
2、软限功能
所谓软限，是指不使用速度比率信号 （ P-OT 、 N-OT ），当机械的可动部超出软限值时则与速度比率一样进行强制停止的功能。
使用软限时，需进行以下设定。
• 将软限功能设为有效
• 设定软限值
1).软限功能有效／无效的选择
软限功能的有效／无效通过 Pn801= n. ??? X （软限功能）进行设定。
软限功能在以下场合 （确定机械坐标系原点的状态）有效。除此以外的情况下，即使超出软限范围软限功能也不
动作。
• 完成 ZRET 指令后
• 以 POS_SET 指令执行了 REFE = 1 指令后
2).软限值的设定
设定正转侧、反转侧的软限值。
